產品特點

■低發塵、禁油、無金屬

※接液部

■追加擴展品/可選項

■直動式搖臂型／LVM07?09/090?10/100?15/150?20/200

?隔離結構

通過膜片隔離使用流體區域與電磁線圈驅動部。

?接觸流體部材質（無金屬）

?容積變化量（抽吸容積）0.01μL以下

對通常的膜片式閥，由于在OFF狀態和ON狀態下閥室內容積不同，因此將閥從ON狀態切換至OFF狀態時，其容積變化導致流體從閥的2次側輸出。然而，對搖臂式，ON狀態與OFF狀態幾乎沒有容積變化，因此閥切換時，流體不會從閥的2次側輸出。

?閥室內容積

抑制閥室內容積，減少液體殘留

?可選擇帶節電回路

可大幅降低保持時的功耗

可長時間連續通電

■省空間

■追加可選項 New

■直動式搖臂型／LVM11?13

?座閥結構，減少堵塞

■系列擴展品